李言荣
长期从事电子薄膜材料与器件应用研究,发明了倒筒式溅射旋转沉积薄膜制备技术,解决了大面积单、双面YBCO超导薄膜面内均匀性和两面一致性,形成了小批量产品。发明了介电薄膜的纳米自缓冲层技术,显著提高了多元氧化物介电薄膜工程应用的耐压能力和生长取向特性,热释电薄膜红外传感器已批量生产,并装备于煤矿瓦斯监测系统,一体化集成的薄膜应变、温度传感器已小批量应用于航空发动机叶片状态检测。利用介电/半导体集成薄膜技术,积极推动新型集成电子器件的发展。主要成果分别获得2003年和2007年国家技术发明二等奖,发表SCI收录论文260余篇,其中国外主要刊物150余篇,授权发明专利30件,出版著作/教材4本。
2011年当选为中国工程院院士。
下一名人:陈先霖